清洗低温等离子处理器是利用等离子的高效能量粘附在固体表面，二氧化碳的等离子体是二氧化硅裂解表面高分子量有机物的分子链，形成小分子，进一步裂解小分子链和H2O。并形成二氧化碳。最终分子蒸发，残留分子产生一些极性基团，增加表面能。例如惰性气体AR2、N2等搅拌等离子体主要用于物理清洗，二氧化碳的等离子体
