如果设备一直处于抽真空状态，紫外臭氧清洗机增加亲水性真空室内的真空度会不断增加，分子之间的距离会增加，分子间的作用力会减小，使用等离子的清洗设备的等离子发生器产生的高压交流电场它将激发 Ar、H2、N2、O2 和 CF4 等工艺气体，并将其变为具有高反应性和能量的等离子体以防止它发生。半导体器件表面
