(B)装卸输送系统通过压力轮和皮带输送将料片输送到换料平台的高台，橡胶附着力促进剂并通过移料系统进行定位。(C)将与料片连接的平台交换到等离子体反应室下部，通过改进系统关闭真空室并抽吸，进行等离子体清洗。当高台被转移到清洁位置时，低台被转移到接收位置以接收第二层。高平台清洗后与低平台进行位置交换，低
