一般在电晕清洗中，薄膜电晕处理的原理活化气体可分为两类，一类是惰性气体电晕（如Ar2、N2等）；另一类是反应气体（如O2、H2等）的电晕。电晕产生的原理是：对一组电极施加射频电压（频率约为几十兆赫），电极之间形成高频交变电场。在交变电场的搅动下，区域内的气体产生电晕。活性电晕对被清洗物表面进行物理轰
