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射频与高频放电等离子体的产生机理是有所不同的;从应用的角度来看,湖南射频等离子清洗机使用方法高频电源更便宜,相关装置的设计与制造更间单,因此更实用,从近十年的文献分析来看,这类装置的结构大多采用了在惰性气体%1(或以惰性气体为主掺入一些活性气体)气流通道上形成DBD。 (2) 引线键合前。芯片贴附在
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