在没有空间电荷积累时，南平真空等离子清洗的干式螺杆罗茨真空泵流程电子和正离子呈均匀分布，且Nio=Neo=N。出现电荷积累后，Ni(r) 和Ne(r)则不再均匀分布。一般情况下，质量小的电子先达到热平衡，而质量大的离子仍停留在原来位置，此时Ne(r)服从麦克斯韦分布：(1-6)式中，Ve(r)=-e
