1)等离子体的化学反应化学反应中常用的气体有氢(H2)、氧(O2)、甲烷(CF4)等。这些气体在等离子体中发生反应，等离子清洗机清除不了肉眼可见脏污形成高度活性的自由基，自由基将进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面发生化学反应。压力越高，越有利于自由基的生成。因
