样品放置反响腔室内，亲水性纤维丝网真空泵开端抽气至一定的真空度，电源启动便产生等离子体，然后气体通入到反响腔室，使腔室中的等离子体变成反响等离子体，这些等离子体与样品外表产生反响，生产可挥发的副产物，并由真空泵抽出。使用等离子高能粒子与资料外表产生物理和化学反响，可以完成对资料外表进行激活、蚀刻、除
