然后 CHX 自由基在固体表面(如容器壁和电极)上定向重组,广东非标加工等离子清洗机腔体定制价格形成以下产物:可从表面拆卸。在等离子体系统中,等离子体的主要作用是激活甲烷分子形成CHX自由基。自由基的类型和浓度由等离子体源及其能量相关参数决定。自由基由它们的表面性质控制如下。在传递能量进行自由基重组