由于高分子材料本身的疏水性,co2作为等离子刻蚀气体时参与反应吗血液过滤器的内壁和滤芯需要对等离子蚀刻机进行抗凝处理,以提高其过滤能力、亲水性和使用寿命。。等离子刻蚀机对超光滑基板的等离子表面处理研究:等离子处理可以通过溅射去除处理后的转变层,降低表面粗糙度,提高基板的表面清洁度和表面能。蚀刻等离子