等离子体清洗机在硅片和芯片工业中的应用硅片、芯片和高性能半导体是高度敏感的电子元器件。随着这些技术的发展，等离子体表面改性的分类低压等离子体技术作为一种制造工艺也得到了发展。大气压等离子体技术的发展开辟了新的应用潜力，(等离子体表面处理设备)特别是对于全自动化生产的趋势，等离子体清洗机发挥了至关重要
