基础设备齐全后，干法刻蚀等离子体需要在什么条件下产生即可进入正常工作状态。 使用等离子清洗机时须要注意不是等离子表层处理用时越长越好，而是要根据等离子清洗机表层处理聚合物表面发生的交联、化学改性、刻蚀等因素。这主要是是等离子体使聚合物表面分子断裂，会产生大量自由基。随等离子清洗机用时的延后，放电输出
