在半导体生产中，附着力不合格分析低温等离子体清洗已成为必不可少的设备：由于生产工艺和使用条件的不同，市场上的清洗设备存在明显差异。目前市场上的清洗设备主要有单晶低温等离子清洗、自动清洗和擦洗机三种。从二十一代到现在的发展趋势，单晶圆低温等离子清洗机、自动清洗机、清洗机是主要的清洗设备。单晶圆低温等离
