等离子体的化学性质几乎完全取决于原料气体。如O2、N2、N2O、CO2等可以产生氧化等离子体。这些气体用于使表面更加湿润或亲水性的极性溶液。这是通过等离子体诱导共价氧键转化为羰基、羧基、羟基和其他官能团来实现的。这些极性官能团可以增加表面能量，等离子体的化学性质从而使组织细胞更容易粘附或分析物更容易
