把等离子体中存在的离子的温度用Ti表明，电子线附着力每批抽几个电子的温度用Te表明，而原子，分子，或原子团等中性粒子温度用Tn表明。整个过程就是依靠等离子体在电磁场内空间运动，电子线附着力每批抽几个并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果（清洗过程某种程度就是轻微的蚀刻工艺）；清洗完
