电子组装技术、精密机械制造的进一步发展,对清洗技术提出越来越高的要求。环境污染控制也使得湿法清洗 的费用日益增加。等离子清洗工艺在现代清洗工艺中所占比例越来越大。等离子体存在于我们周围的物质有三种形态：固态、液态及气态，等离子体通常被称为物质的第四态。普通气体由电中性的分子或原子组成，电离气体是电子
