分析表明，二氧化钛膜亲水性等离子体对油脂和污垢的影响类似于油脂和污垢的焚化炉反应，不同之处在于“燃烧”发生在低温下。在氧等离子体中的氧原子自由基、激发的氧分子、电子和紫外线的共同作用下，油分子最终被氧化成水和二氧化碳分子，从物体表面去除。可见，等离子体去除油污的过程是有机大分子逐渐分解，最终形成水、
