等离子体是物质的状态，端子等离子蚀刻机也称为物质的第四态，不属于固、液、气三种一般状态。向气体施加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体的活性成分包括离子、电子、原子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子蚀刻机利用这些活性成分的特性来处理样品表面，以达到清洁和涂层的目的。通过化学或物理
