此过程类似于下文所述的等离子蚀刻和化学蚀刻。目前，反应性离子刻蚀和非反应性离子刻蚀的区别用受激准分子激光加工的孔是精细的。受激准分子激光是紫外光，直接破坏基底树脂的结构，使树脂分子分散，产生的热量很小，因此孔周围的损伤程度可以限制在小范围内，孔壁光滑垂直。如果能进一步减小激光束，可以加工出直径为10
