使用一定时间后，酒精去胶的原理腔体内会残留一些污垢，附着在电极板和腔壁上。清洗方法：连续使用一定时间后，用蘸有酒精的无尘布（纸）清洗所有电极板和腔壁，保持腔壁清洁。（2）观察窗是工作人员在工作时用来观察真空等离子体表面处理机腔内放电的情况。使用气体蚀刻后，观察窗表面会有轻微的蚀刻，观察窗会变得模糊不
