是机构等离子表面处理的理想设备。。等离子设备等离子蚀刻对HCI的影响：等离子器件等离子刻蚀工艺可靠性中的HCI是指高能电子和空穴注入栅氧化层引起的器件性能劣化。在注入过程中，南平真空等离子清洗机价格表会产生界面条件和氧化物陷阱电荷，从而损坏氧化物层。随着损伤的加深，器件的电流和电压特性发生变化。如果
