当冷等离子体与物体表面碰撞时，离子刻蚀机RE会发生两种不同的反应。当冷等离子体与材料表面碰撞时，会发生两种不同的反应，不仅会产生物理影响，还会产生化学腐蚀。材料的表面。物质的表面改性是通过破坏或激活（激活）材料表面上的旧化学键来实现的。这种方法首先要求冷等离子体中的各类粒子具有足够的能量来破坏材料中
