随着半导体技术的发展，福建等离子清洗装置罗茨真空泵批发由于其固有的局限性，湿法腐蚀逐渐限制了其发展，因为它不能满足微米甚至纳米细线超大型集成电路的加工要求。由于其离子密度高、蚀刻均匀、蚀刻侧壁垂直度高、表面粗糙度高等优点，等离子清洗技术广泛应用于半导体加工技术中。等离子清洗技术对多晶硅晶片有良好的蚀
