虽然在等离子体清洗机中使用纯氢清洗表面氧化物是有效的，刻蚀工艺的原理和目的但这里主要考虑放电的稳定性和安全性，氩氢混合物更适合等离子体清洗机的应用。此外，对于易氧化或易还原的材料也可以采用等离子清洗机，将氧气、氩气、氢气的清洗顺序颠倒，达到彻底清洗的目的。气体在等离子清洗机中的应用实例:金属表面脱油
