等离子涂层工艺复合材料(复合材料)(等离子辅助 CVD)、多种薄膜成分(TiN、TiC 二元薄膜到 TiAIN、TiCN、TiAl)、多种薄膜结构(TiN、TiC 和其他单层到 TiC-Al2O3- 到 TIN)和其他多层薄膜),硬质合金表面改性薄膜成分和微观结构梯度,薄膜颗粒纳米化(5)。为了提高