这是因为电子和离子的能量分布很大程度上影响了离子和晶圆表面的反应速率。一般来说，晶圆去胶机等离子体清洗机电子影响激发、电离、分解和热扩散过程，从而影响许多中性反应基团的通量、能量和表面反应速率。离子可以传递足够的能量，促进表面的化学反应过程，诱导溅射，从而影响反应离子的通量和能量以及参与离子的表面反
