在非热力学平衡的冷等离子体中，硅胶等离子清洗条件电子具有很高的能量，可以破坏材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应性（大于热等离子体）。中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏聚合物的表面改性提供了合适的条件。低温等离子表面处理使材料表面发生各种物理化学变化，蚀刻和粗糙化，形成高密度交联层，或亲水性
