它利用等离子体的高能量和不稳定性来清洁和活化处理材料的表面，涂层附着力抽检方法从而改变表面的微观结构、化学和能量。真空等离子清洗装置的等离子和物体表面功能可分为物理功能（离子冲击）和化学功能。其物理化学反应机理是活性颗粒与干净的表面碰撞，污染物从表面分离出来，由真空泵吸出。化学反应机理是各种活性粒子
