偏置电压对于定义图案的形状也很重要。偏置电压可以有效地平衡不同材料之间的蚀刻速率。这对于定义多层高纵横比图案非常重要。如果没有，硅胶硫化有附着力它会形成覆盖物。 - 弯曲的图案甚至变形。如果偏置电压低，则不可能获得足够高度的纳米结构。即图案底部有甚至是非常倾斜的侧壁。绿色蚀刻完成，但高偏压消耗了充当
