非反应性气体电离后，表面改性的方法特点是主要依靠离子的物理影响来去除污染物。在清洁过程中，一些气体还会改变材料的表面特性。例如，氮等离子体可以提高金属材料的硬度和耐磨性。 ..另外两种常用的气体是氩气和氦气，它们的优点是击穿电压低，等离子体稳定。其中，氩原子的电离能ε为15.75eV，氩等离子体中含
