2、材料表面的真空腐蚀等离子物理效应等离子、激发分子、羟基自由基、其他活性羟基自由基等活性粒子作用于固体样品表面，真空等离子贴壁表面处理技术去除原有的污染物和杂质，不仅仅是做。不仅是表面，而且腐蚀，样品表面变得粗糙，出现许多凹痕，样品的比例增加。提高固体表面的润湿性。 3、真空等离子体产生新的官能团
