化学清洗是利用等离子体中的高反应性自由基与材料表面的有机物发生化学反应。用氧气清洗将非挥发性有机物转化为挥发性形式，电线plasma除胶机器产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的优点是等离子表面处理速度快，选择性高，对有机污染物的清洗效果好。主要缺点是产生的氧化物会重新污染材料的表面。氧化物在电线粘
