等离子体在清洗过程中不使用任何化学溶剂，电瓷是亲水性物质基本不含污染物，有利于环境保护。此外，生产成本低，清洗均匀，可控性好，易于批量生产。芯片键合前的处理可以采用等离子体清洗表面清洗，因为未经处理的材料表现出一般的疏水性和惰性，其表面键合性能普遍较差，在键合过程中容易产生空洞。活化表面可以改善环氧
