图3普通CCP源的腔室结构在1MHz到MHz之间，电晕处理机用什么排风机自由电子可以随着电场的变化获得能量，而离子由于质量较重，往往不随电场的变化而运动。电容耦合电晕的放电压力常在几毫托到几百毫托之间。由于电子的质量远低于离子，电子可以移动更远更远的距离，与气体和器件壁碰撞，从而电离出更多的电子和离
