真空电晕/蚀刻机的制造设备上装有两个金属电极，电晕处理机怎样维护电晕辊使密闭容器内的两个金属电极产生电磁场。真空泵使气体的真空度变薄，分子间的距离和分子或离子的自由运动距离变长，从而产生电晕。这些离子具有很高的活性，能量会破坏大部分化学键可以在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的电晕具有很高的化
