等离子体设备的等离子体中有哪些基本粒子?众所周知,等离子体产生的等离子体设备处于疲软的电离状态,所以在低温等离子体放电的过程中,通常有六种基本粒子:光子,电子,基态原子(或分子),激发态原子(或分子),正离子和负离子。。在阳极点附近也存在相同机理的阳极喷流。等离子体发生器交流放电等离子体发生器通常指
