在材料表面等离子清洗的应用中，外延片plasma清洗机器电容耦合射频等离子清洗机应用广泛。二、基本原理等离子清洗机低温等离子体的产生机制有很多，包括但不限于直流辉光放电、射频感应放电和电容耦合射频放电。其中电容耦合水平极板射频放电加工面积大，被广泛应用于许多研究和工业处理中。下图显示了水平电容耦合射
