非弹性碰撞导致激发（分子或原子中的电子从低能级跃迁到高能级）。能级）、解离（分子分解成原子）或电离（分子或原子从外部电子的键合状态变为自由电子）。热气体通过传导、对流和辐射将能量传递到周围环境。在稳态下，电子电路等离子刻蚀机器特定体积的输入能量和损失能量相等。电子与重粒子（离子、分子、原子）之间的能
