等离子体是电中性的，低温等离子体清洗油污由电子、离子、光子和中性粒子组成，其中电子和正离子的数量基本相等，但等离子体并不处于稳定的物质状态。当电离能消失时，各种粒子会重新组合，形成原来的气态分子。低温等离子体中的活性粒子种类繁多，比一般化学反应产生的活性粒子活性更强，种类更多。这些活性粒子很容易与材
