同时，电子束表面改性的基本过程在线等离子清洗非常有利于环境保护，清洗后不会产生有害污染物。当全世界都非常关注环保意识时，这一点变得越来越重要。贴片前的在线等离子清洗：固晶空洞是封装过程中的常见问题，因为未清洁的表面上存在大量氧化物和（有机）污染物，这可能导致芯片的不完全（完全）键合。降低（降低）封装
