等离子体与材料表面的化学反应主要包括物理反应和自由基反应。等离子体表面物理反应机理研究等离子体与材料表面之间的物理反应主要是纯物理函数。材料表面的原子或附着在材料表面的离子被离子敲出。在低压下，玻璃盖板plasma去胶机离子的平均自由基很轻，能量被储存起来。因此，在发生物理碰撞的情况下，离子能量越高
