很多产品被沾污比如有:有（机）物如玻璃表面的油污、环氧基聚合物、氧化物如氧化银等、氮氧化物、光刻胶，玻璃油墨附着力增进剂焊料残余、金属盐等。针对不同的基材和污垢，应采用不同的清洗方法：氧气、氩气、氯基气、氢气等工艺气体类型和流量控制；常用的13.56MHz、40kHz、2.45GHz等不同的电源功率
