许多产品被污染，陶瓷与玻璃亲水性对比表如:玻璃表面的油渍、环氧基聚合物、氧化物(如氧化银、氧化氮、光阻剂、焊锡渣、金属盐等)。针对不同的基材和污垢，应采用不同的清洗方法:氧、氩气、氯气、氢气等工艺气体类型及流量控制;常用13.56mhz、40kHz、2.45ghz等不同功率源设计定向磁场对等离子体进
