刚挠结合印制线路板微孔去钻污使用的气体是CF4和O2。CF4和O2输入至等离子机真空腔体后，线路板附着力标准在等离子发生器的高频高压电场作用下，CF4，O2气体发生离解或相互作用生成含有自由基、原子、分子及电子的等离子气体氛：O2+CF2→O+OF+CO+COF+F+e+ 等离子体中的自由
