随着半导体规模接近其物理极限，特种附着力促进剂价格范围新材料、新器件结构和新工艺不断被引入集成电路制造工艺中，以延续摩尔定律并使器件尺寸更小 包括高介电常数材料、锗硅载流子传输增强材料、金属栅极材料、SICONITM预清洗工艺、分子束外延生长工艺等，PLASMA清洗机气体材料的种类和数量也在相应变
