对晶圆外边缘及斜面清洁的方法主要包括3种:①化学机械研磨过程中加入的外边缘及斜面研磨清洁;②湿法蚀刻及清洁;③等离子体边缘蚀刻。等离子体边缘蚀刻相对来说具有一定的突出特点，热塑性粉末附着力例如边缘蚀刻区域的精准控制，较多的蚀刻气体种类可以对多种薄膜进行处理，多样的可调参数可以控制对前层的影响等。等离
