如果频率太高且电子振幅小于平均自由程，烟味附着力为什么那么厉害电子气分子碰撞的机会就会降低，电离率也会降低。常用频率为13.56MHz和2.45GHZ。功率影响：对于一定量的气体，功率越高，等离子体中的活性粒子越密集，脱胶速度越快。但是，当功率增加到一定值时，反应只消耗很多。再厉害，脱胶速度也没有明
