这说明体系中CO2的浓度是C2H6氧化脱氢过程中的一个重要参数。如果CO2浓度过低,反应离子刻蚀的特点C2H6的转化率低,容易生成高碳烃。如果CO2浓度过高,C2H6会发生氧化反应,导致C2H4和C2H2的选择性降低。因此,最好添加50%左右的CO2。。目前,低温等离子体主要通过气体放电产生。由表3