放电气压可以在小于1Pa到数倍大气压(105Pa)之间。等离子体发生器常常运用交变电源驱动放电,漆膜附着力高低温交变其频率规模在1 MHz到200 MHz之间。这个频率规模归于射频波段,射频波段是特别有意义的。关于低频端的射频放电,除了重离子外,等离子体中的其它各种粒子的运动均可以跟上射频电磁场的改