就经济可行性而言，温度影响油墨的附着力低温等离子体刻蚀机本身的系统组成单一、紧凑。在运行成本层面，微观上讲，由于放电过程只是提高了电子温度，离子温度基本保持不变，反响应系统可以保持低温。因此，低温等离子体设备不仅能量利用率高，而且维护成本低。低温等离子体工艺在处理蒸汽污染物方面具有明显的优势。其基本
